跟着半导体产业的马上发展，半导体建立商场畛域也在同步增长。有关数据显现，2017年至2022年，各人半导体建立商场畛域从566亿好意思元升迁至1076.4亿好意思元。建立商场扩增极大升迁了建立零部件需求。据推算，2022年各人半导体建立零部件采购额约为500亿好意思元。
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▲ WSTS于2023年6月份发表数据，2022年各人半导体商场销售额达到5741亿好意思元，2024年瞻望达到5760亿好意思元 数据来源：WSTS
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▲ 半导体建立各人商场畛域 贵寓来源：SEMI，民生证券联系院
按照结构组成，半导体零部件可能够分为：机械类、电气类、机电一体类、气/液/真空系统类、仪器仪容类、光学类等。其中真空系统类则分为干式真空泵、分子泵等多样真空泵、各样阀件、压力计以及O型密封圈等。
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▲ 半导体建立产业链高卑劣图片来源：民生证券联系院
VLSI Research 统计，近10年来半导体枢纽子系统供应商销售额排行，前十位被真空泵、光学系统、阀门厂家紧紧占据。用最直不雅的数据例如，一个月产4万片的晶圆厂，约莫需要上千台真空泵及尾气处理系统和500台分子泵。可见真空系统在半导体行业的伏击性。
一 半导体制造与真空系统
半导体家具的悉数这个词制造过程可分为：晶圆加工—氧化—光刻—刻蚀—薄膜千里积—互连—测试—封装 等法子，其中包括了上百个具体的工艺要津。其中真空系统在半导体制造中涵盖了晶片加工、薄膜涂覆、化学气相淀积、等离子体刻蚀等多个要津。
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▲ 真空系统在半导体制造的主要应用要津
真空系统在半导体制造中的作用主要有两点：❶抽取工艺腔的气体，去除颗粒与富饶的水汽等杂质，有助于减少其对半导体材料的耻辱；❷为止气压，收场对半导体器件制造过程中的精准为止。凭据以上需求半导体建立的真空系统主要由干式真空泵，分子泵与冷泵家具组成。
目下各人半导体真空系统岂论是家具水准照旧商场份额，欧洲厂商都占据很大比重。其中，EDWARDS 无疑是半导体产业真空家具的理思协作伙伴。本文以 EDWARDS 部分家具为例，说明干式真空泵、分子泵及尾气处理建立在半导体制造中的应用。
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▲ 世界主要真空泵供应商积年销售额数据来源：VLSI research，EDWARDS，单元：百万好意思元
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▲ TechInsights 发布2023年十泰半导体建立商的排行，EDWARDS 位列第四
● 干式真空泵
目下在半导体领域实行的干式真空泵主要为：多级罗茨真空泵、爪式真空泵和螺杆真空泵。
在半导体坐褥线上，收支样品加载腔（L/L腔），传输腔和工艺处理腔都需真空环境，但对真空系统的条件有所不同。
关于L/L腔抽真空，干式真空泵靠近的主要挑战是耐受高频大气冲击；关于传输腔，干式真空泵靠近的主要挑战是大气冲击以及为止特定气量下的压力；关于工艺腔抽真空，干式真空泵的条件是耐腐蚀，踏实性高，处理粉尘材干强及密封性风雅。
目下工艺处理腔真空系统主流大多是秉承罗茨+多级爪式干泵或罗茨+多级罗茨干泵的多级泵结构，以 EDWARDS iXH 泵与 iXM 泵为相比典型的应用花样，其主要凭据工艺挑战采用合适的型号。
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▲ 自上而下鉴别为：EDWARDS iXM 系列（幼稚耗、高性能）、iXH 系列（强耐腐蚀性、处理粉尘材干强）
● 分子泵
分子泵平日应用于半导体制造过程中的光刻机、薄膜千里积建立、刻蚀建立、离子注入机、原子层千里积（ALD）等枢纽建立。
如 EDWARDS STP 磁悬浮涡轮分子泵适用于条件高真空、低振动、无耻辱、少爱护的半导体工艺中。其多轴磁力轴承系统可使转子在动手时期督察悬浮情状，摒除了机械轴承带来的损坏风险，同期较大裁减杂音和振动。
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▲ EDWARDS STP 系列磁悬浮涡轮分子泵：抽气速率300L/s至4500L/s，极限压力<10-10mbar，工艺气体流量处理材干强
芯片坐褥过程需不绝绝使用有机溶剂和酸性溶液，反应过程会产生无数的有毒无益的气体。EDWARDS STP 系列磁悬浮涡轮分子泵为工艺过程提供保护涂层、氮气吹扫、加热保护等选项，其可靠的质料和性能，在商场上享有较大声誉，在好多具有挑战性的半导体工艺中是理思建立。
● 尾气处理建立
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半导体工艺中使用的气体有毒性，易燃易爆，腐蚀等特质，不行径直排放至大气中，需要用尾气处理建立将不可控的气体调整为可控气体，以下为废气的排放旅途。
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半导体废气排放旅途EDWARDS 以 Atlas 为代表的一系列尾气处理建立具有风雅的气体处理后果，粉尘处理材干强和安全性高，获得了各人半导体客户的认同。同期尾气处理建立与干式真空泵组成集成系统，以搪塞高风险工艺，升迁工艺踏实性与空间利用率，共同组成了 EDWARDS 完好的半导体真空及尾气处归并决决策。
二 半导体真空系统爱护、维修的伏击性
纵不雅各人半导体行业的发展态势，其制造工艺对半导体建立的条件已越来越残暴。相应的，半导体零部件在材料、结构、工艺、品性、精度、可靠性、踏实性等各方面也靠近着更高的标准。
关于真空系统及尾气处理建立同样如斯。真空系统是半导体建立的伏击组成部分，真空泵动手情况的优劣径直影响制品的质料和建立的安全。是以，对真空系统及尾气处理建立依期检讨、实时发现故障和处理，可有用从简维修时辰，保证建立安全经济动手。
而实在数据也评释了以上不雅点。通过分析2017年至2022年各人半导体真空泵商场畛域情况咱们不错得出论断：维修商场与建立商场共同组成了半导体真空泵商场全景，其中维修商场占比约25%，说明半导体真空泵领有渊博的维修商场。好多真空系统及尾气处理建立是24小时不绝绝动手的，维修建立注定加多坐褥老本，该数据也让半导体厂商领略到建立检测、检讨、爱护、维修的伏击性。
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2017-2022年各人半导体真空泵商场畛域情况 图片来源：华经产业联系院三 优质售后管事 更好助力客户坐褥
另一方面，优质半导体真空系统供应商凭据商场及客户需求，在提供高品性建立硬件的同期，升迁售后管事质料，保证家具踏实高效动手，更好的助力客户坐褥。
行为真空和尾气处理领域的各人协作伙伴，EDWARDS 售后管事团队一直助力现场运营，为客户提供优质管事。据统计，EDWARDS 稀有万台建立遍布天下，保证繁密建立的正常动手，保险客户高效坐褥，成为其售后管事团队的紧要任务！
从装机与维修，到诊疗与不绝变嫌，EDWARDS 售后管事团队运营职责之是以获得开阔半导体客户的认同，其原因主要体当今以下四个方面：
❶ 专科的售后管事团队
EDWARDS 售后管事团队在国内领有专科的半导体建立维修、诊疗技能及数百名劝诫丰富的工程师，分享各人半导体建立应用常识，同期领有国内家具应用、技能解救、国际家具研发等里面团队的强力解救，确保餍足不同的客户需求，保证建立的“健康”！
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❷ 问题反应更实时
EDWARDS 售后管事团队遍布天下数十个主要城市，管事东说念主员全天候反应。有用的管事计策，完善的问题处理和升级经过，确保更快更准地识别和责罚问题，为客户裁减坐褥过程中的损构怨老本。
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❸ 现场功课更安全
售后管事团队分享 EDWARDS 各人安全束缚体系，将公司安全束缚目的和客户安全目的相王人集，制定出相宜客户和售后团队的现场安全束缚体系。通过不绝的风险评估和安全风险识别，制定搪塞法子裁减风险，保证现场功课的安全性。通过售后团队成员不绝提高的安全领略，保证现场建立、东说念主员的安全以及客户坐褥安全。
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❹ 管事质料更贴心
使用来孤高家管事劝诫制定的功课相似书，确保团队管事成员在提供客户管事前完成专科级家具培训认证，并不绝升迁成员自己技巧和管事技巧，旨在为客户提供更贴心的高质料管事；凭据现场客户端正、坐褥工艺和建立人命周期，为客户量身定制优质管事估量，捏续变嫌现场运营情况。
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行为真空和尾气处理领域的责罚决策提供商，EDWARDS 售后管事团队凭借渊博的客户群体，贴近各人半导体建立数据和该领域全面的专科常识，机动讹诈管事束缚应用系统，实时制定有用的管事计策，裁减现场风险和不细目性，为客户打造众人级的真空系统及尾气处理建立维修诊疗责罚决策。
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